一、空調(diào)凈化系統(tǒng) 空調(diào)凈化的設計是與工藝的布局、生產(chǎn)的流程密切結(jié)合的。不同類型、不同用途的廠房空調(diào)凈化系統(tǒng)都各有特點,下面來介紹硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。(1)空調(diào)系統(tǒng)①切片室、倒角室、研磨片室僅有溫度控制要求,設風冷熱泵分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi),接風管,采用雙層百葉風口側(cè)送風方式;室外機放置在屋面上。切片室的排風量較大,新風采用直接蒸發(fā)式熱泵型屋頂空調(diào)機S1-1和S1-2來補充。車間有防塵要求,風冷熱泵分體柜式空調(diào)機回風口處設中效過濾器(大氣塵計數(shù)效率:≥60%,對于≥1μm粒子),同樣屋頂式空調(diào)機需設兩級過濾器。②爐室、BSD室僅有溫度控制要求,設風冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAC) 來保證房間溫度要求,室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi),接風管,采用方形散流器頂送風方式;室外機放置在屋面上。新風由相鄰潔凈室正壓過來。車間有防塵要求,風冷電熱分體柜式空調(diào)機回風口處設中效過濾器(大氣塵計數(shù)效率:≥60%,對于≥1μm粒子)。③磨片檢查室有溫度和濕度控制要求,設風冷電熱分體柜式空調(diào)機(PAC)來保證房間溫度要求,室內(nèi)機就近放置在車間內(nèi),接風管,采用方形散流器頂送風方式;室外機放置在屋面上。新風經(jīng)新風機組(MAU-1.2)處理后,接至送風管上送到室內(nèi),相對濕度由新風機組來保證。新風機組是與凈化系統(tǒng)共用的。車間有防塵要求,風冷電熱分體柜式空調(diào)機回風口處...
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一、空調(diào)系統(tǒng)(1)冷熱源新風集中處理機組(MAU)、降溫空調(diào)機組(AHU)及空調(diào)循環(huán)機組(RCU)所用的冷媒為7℃~12℃的冷凍水;新風集中處理機組(MAU)及降溫空調(diào)機組(AHU) 所用熱媒為38℃~32℃的熱水;潔凈區(qū)新風集中處理機組(MAU)初級冷盤管、潔凈區(qū)循環(huán)空氣處理干冷盤管所用冷媒采用15℃~20℃的冷凍水;加濕方式為電熱式加濕器。(2)空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求相應設計了凈化空調(diào)系統(tǒng)、恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)、降溫空調(diào)系統(tǒng)及直流空調(diào)系統(tǒng)。1.廠房中的潔凈生產(chǎn)車間為工藝生產(chǎn)的關鍵區(qū)域,潔凈度要求較高,粒子數(shù)最高要求為≤10000顆/ft3 (對于0.5μm粒徑)。該區(qū)域建筑上分為2層,上層為送風靜壓箱,吊頂由風機過濾器單元(FFU) +金屬吊頂框架組成,下層為工藝生產(chǎn)區(qū)。該區(qū)域采用送風靜壓箱+吊頂上安裝的風機過濾器單元(FFU)頂送風,沿結(jié)構(gòu)柱或側(cè)墻設置的回風夾道回風,工作區(qū)氣流組織形式為頂送下側(cè)回。潔凈室內(nèi)循環(huán)回風經(jīng)過安裝于回風夾道內(nèi)的干冷盤管進行降溫處理后與新風混合,再送至室內(nèi)。2.廠房中的潔凈生產(chǎn)車間設置單獨的新風集中處理系統(tǒng)。新風經(jīng)粗效、中效、高效過濾器過濾,溫度、濕度處理后送入送風靜壓箱內(nèi)與潔凈室內(nèi)循環(huán)回風混合。新風集中處理系統(tǒng)的處理流程為:新風入口→粗效過濾器過濾→初級表冷→二級表冷→加熱段→電加濕→風機加壓→中效過濾器過濾→高效過濾器過濾→送風靜壓箱內(nèi)與潔凈室內(nèi)循...
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一、風量計算實驗動物房的空調(diào)凈化系統(tǒng)要解決的兩個主要問題:防止交叉感染和臭氣的擴散。實驗動物設施的污染源,除微生物外,還有氨、硫化物等發(fā)臭物質(zhì)。為防止發(fā)臭物質(zhì)的蓄積,實驗動物房的空調(diào)凈化系統(tǒng)一般采用全新風方式。因此風量的計算,主要是新風量和排風量計算。風量一般采用經(jīng)驗換氣次數(shù),根據(jù)規(guī)范,普通環(huán)境換氣次數(shù)采用15次/h,屏障環(huán)境換氣次數(shù)采用20次/h,另外還需結(jié)合具體房間的負荷,比較消除負荷所需的風量大小,個別設備散熱量大的房間換氣次數(shù)會大于經(jīng)驗值。新風量確定后,根據(jù)房間壓差,利用壓差滲透法,確定房間的排風量。正壓區(qū),新風量大于排風量,負壓區(qū),反之。此外,工程中關于換氣次數(shù)的取值,有些項目會盲目的加大換氣次數(shù),以確保能達到更好的潔凈效果,實際上15次/h是有很大的安全余量的,換氣次數(shù)加大,會導致空調(diào)負荷增大較多。二、空調(diào)系統(tǒng)劃分空調(diào)系統(tǒng)劃分需要結(jié)合具體的平面布局和動物飼養(yǎng)環(huán)境進行,主要依據(jù): (1) 普通環(huán)境和屏障環(huán)境系統(tǒng)分開;(2)飼養(yǎng)動物的種類,比如大動物、小動物分開;(3)房間使用功能如免疫區(qū)和攻毒區(qū)分開。另外各環(huán)境中又分為2個系統(tǒng),服務于業(yè)主優(yōu)先使用的動物房、走廊和輔助房間等為一個系統(tǒng),另外的動物房間單獨為一個系統(tǒng),這樣可以滿足動物較少時,只需要運行其中的一個系統(tǒng),從而節(jié)省運行費用。所有組合式空調(diào)箱均配有:新風段、初效過濾段、預熱段、中間段、預冷段、再冷段、中間段、再熱段、蒸...
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一、濕度在半導體行業(yè)中的要求半導體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個空調(diào)參數(shù)都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響,其對濕度的精度提出了嚴格要求,對于空調(diào)系統(tǒng)的配置,則要求系統(tǒng)同時具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。一般的,半導體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2℃,RH=45±5%;而對于這個溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進行處理,并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個致命問題,冷熱的抵消和能耗的巨大浪費,特別是由于半導體行業(yè)的大新風,大排風系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況,使得這個問題十分突出。因此,在最新的許多半導體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風通過新風機組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機組處理的組合方式,達到室內(nèi)送風溫、濕度要求,并取得了顯著收益。二、工程實例(一)設計條件及要求:a、室內(nèi)要求:T=22±2℃;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;b、潔凈級別:10K ( 10000級) ;c、體積:S=2000m2;H=2. 8m;d、工作人員:30名...
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一、鋰電池產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求分析根據(jù)工藝需求特點,可以大致將鋰電池生產(chǎn)廠房對于空調(diào)系統(tǒng)的濕度需求分為以下三類:1)普通濕度需求空調(diào)房間,如負極涂布間等房間,其濕度控制需求為≤60%,該需求可通過冷卻除濕實現(xiàn)。2)低濕需求空調(diào)房間,如正極輥壓間、正極分條間、正極模切間以及正極二分間等房間,其濕度控制需求為≤20%,以及正極涂布間、負極輥壓間、負極分條間、負極模切間以及負極二分間等房間,其濕度控制需求為≤45%,該需求通過冷卻除濕很難實現(xiàn),因此往往通過轉(zhuǎn)輪除濕機組處理后來滿足使用需求,機組中設置一級轉(zhuǎn)輪。3)低露點濕度需求空調(diào)房間,如干燥間、化成間以及注液間等房間,其濕度控制需求為露點≤-50℃,甚至更高,該需求現(xiàn)有的一級轉(zhuǎn)輪除濕機組很難滿足工藝需求,工程中一般設置兩級轉(zhuǎn)輪除濕段對房間空氣進行處理,以滿足使用需求。二、鋰電池生產(chǎn)行業(yè)除濕方式的選擇和確定現(xiàn)行的空氣除濕方式有很多種,包括冷卻除濕,液體吸附劑除濕,固體吸附劑除濕,膜除濕等。在實際應用中,單一除濕技術(shù)很難滿足要求,而且從節(jié)能角度考慮,多種除濕技術(shù)聯(lián)合使用能綜合各種技術(shù)的優(yōu)勢、規(guī)避自身不足,在節(jié)能的同時提高除濕的效率。目前,空氣除濕主要有冷卻除濕和轉(zhuǎn)輪除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中,冷卻除濕在高溫高濕的環(huán)境且對濕度要求不是很嚴格的條件下,效果還是比較好,但在除濕量比較大且環(huán)境溫度比較低的環(huán)境中,濕度和溫度要求比較高的地方,采用冷卻除...
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一、分析醫(yī)藥生物類潔凈廠房的特點及火災危險性所謂的潔凈廠房是指在建設進程有特殊要求凈化車間。由于潔凈廠房在使用上的特殊性,決定了其建筑結(jié)構(gòu)、布局、功能分區(qū)等方面不同于一般建筑物的施工,潔凈廠房具有的特殊性和復雜性。再結(jié)合醫(yī)藥生物類企業(yè)特點,可以把醫(yī)藥生物類潔凈廠房的特點歸為以下幾類:1.建筑和裝修材料大多數(shù)是可燃材料。由于潔凈廠房需要特殊,常使用許多新的復合材料,加之一些施工單位缺乏消防知識,選擇顏色鋼鐵和泡沫,增加了火災發(fā)生的概率,且這些材料燃燒,會產(chǎn)生大量的有毒氣體。2.醫(yī)學潔凈廠房由于清潔無菌工藝要求,密封性好,火災發(fā)生后室內(nèi)溫度迅速升高,熱量難以散發(fā),使可燃物很快達到燃點而促使火勢擴大,且火勢沿內(nèi)部風管迅速蔓延至各個角落,煙霧覆蓋面積大,能見度低,致使人員疏散困難,極易窒息,搜救工作難度大,人員傷亡率較高。3.制藥行業(yè)潔凈廠房經(jīng)常使用各種易燃易爆危險化學品,比如使用環(huán)氧乙烷、酒精、天然氣活躍的鎳、鈀炭等易燃易爆物品,制藥技術(shù)在殺菌過程中的火焰法和環(huán)氧乙烷法都有著很大的火災危險。二、設計好廠房的平面布置為了確保廠房的整體消防安全,在廠房建設前,應由設計單位、建設單位、使用單位、設備安裝或供應單位對廠房的整體布置提前進行科學論證。在廠房的平面布置上,重點應注意以下兩個方面:首先,易燃易爆的工藝或設備間應盡可能安排在廠房外,或者與廠房貼鄰。如果是特殊情況必須布置在廠房內(nèi)的,應該緊...
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電子級磷酸屬于高純磷酸,是電子行業(yè)使用的一種超高純化學試劑,屬于電子化學品系列產(chǎn)品之,是電子工業(yè)不可替代的無機化工產(chǎn)品。電子級磷酸廣泛用于大規(guī)模集成電路、薄膜液晶顯示器等微電子工業(yè),主要用于芯片的清洗和蝕刻,其純度和潔凈度對電子、元器件的成品率、電性能及可靠性有很大影響。而環(huán)境控制是電子級磷酸項目的質(zhì)量保障體系之一,具有十分重要作用。大氣中所含塵埃和多雜質(zhì),會對高純度的電子級磷酸產(chǎn)品造成污染,因此必須在產(chǎn)品制備過程中和分析檢測過程中,對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理,達到相應的潔凈度要求。除工藝空氣必須經(jīng)物理和化學方法凈化,以免帶入固體微粒等雜質(zhì)外,生產(chǎn)車間、輔助車間、實驗室等都有清潔度要求。由于電子級磷酸質(zhì)量不僅與生產(chǎn)工藝有關,而且與超凈生產(chǎn)環(huán)境密切相關。因此必須在產(chǎn)品制備過程和分析檢測過程中,對各個環(huán)節(jié)可能接觸的污染空氣進行潔凈化處理,達到相應的潔凈度要求。凈化空調(diào)系統(tǒng)設計一、空調(diào)負荷空調(diào)負荷主要由圍護結(jié)構(gòu)傳熱、人體散熱、室內(nèi)照明散熱、室內(nèi)設備散熱、室內(nèi)散濕過程產(chǎn)生的潛熱和新風負荷等部分組成。經(jīng)計算,本工程夏季空調(diào)系統(tǒng)耗冷量為214kW,選用一臺制冷量為226. 4kW水冷螺桿式冷水機組;冬季空調(diào)系統(tǒng)耗熱量為345kW,熱源由廠區(qū)鍋爐房提供。二、換氣次數(shù)根據(jù)《潔凈廠房設計規(guī)范》中提出的換氣次數(shù)與潔凈度的關系,ISO Class6潔凈度要求的換氣次數(shù)為50~60次/h,...
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一、醫(yī)藥潔凈空調(diào)潔凈度設計潔凈室是室內(nèi)空氣潔凈度達到一定級別的房間,空氣潔凈級別依據(jù)每立方米空氣中的微粒數(shù)來確定。各個國家對空氣潔凈級別的劃分有不同的標準?!端幤飞a(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》規(guī)定一萬級潔凈區(qū)每立方米空氣中0.5μm塵粒數(shù)≤350000,≥5μm塵粒數(shù)2000,浮游菌數(shù)≤100,沉降菌數(shù)≤3/皿;十萬級潔凈區(qū)每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)≤3500000,≥5μm塵粒數(shù)≤20000,浮游菌數(shù)≤500,沉降菌數(shù)≤10/皿。凈化空調(diào)系統(tǒng)通過對空氣進行凈化處理(過濾)以達到規(guī)定的潔凈級別要求。以前較常見的做法是:只給主要房間送風,其余房間利用其回風或由潔凈走廊回風,房間頂部布置回風口。這種方法施工方便,但造成各房間交叉污染。初效過濾器、中效過濾器置于空調(diào)機組內(nèi),高效過濾器(或亞高效)置于各房間頂部(若吊頂空間不夠也可置于房間上側(cè)面),由房間下側(cè)部回風。各房間(包括潔凈走廊)均設置送回(排)風口,上送下側(cè)回(排)。這種氣流組織方法利于單獨調(diào)整各房間的正壓,減少各房間之間的影響,系統(tǒng)潔凈度提高。二、醫(yī)藥潔凈空調(diào)溫濕度設計醫(yī)藥潔凈廠房據(jù)產(chǎn)品品種、潔凈級別、運行班次、使用時間等劃分為不同的潔凈空調(diào)系統(tǒng),潔凈室的溫度一般控制在18~26℃,相對濕度控制在45%~65%,常采用一次回風處理方案。其處理方法和具體計算與一般舒適空調(diào)有所不同,加上每個系統(tǒng)房間較多,各個房間熱濕負荷不同,設計時較難兼...
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一、醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染的產(chǎn)生醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)有大量的工藝設備、運輸工具及工作人員,這些工藝設備、運輸工具、人員本身會產(chǎn)生粉塵、濕熱氣體、異味及細菌等污染物,構(gòu)成了潔凈區(qū)內(nèi)的污染源??刂茲崈魠^(qū)內(nèi)部污染物的擴散,也是醫(yī)藥廠房潔凈空調(diào)設計的重要內(nèi)容。二、控制醫(yī)藥廠房潔凈區(qū)內(nèi)部污染方式探討1.產(chǎn)生粉塵房間的污染控制藥品生產(chǎn)過程中有許多工序可能產(chǎn)生粉塵,如粉碎篩分、制粒、膠囊充填等工序,如果這些房間空調(diào)氣流組織不合理,會造成粉塵擴散,從而影響到該房間空氣潔凈度。以粉碎間為例,設計中送、排風口可能有幾種布置方式:方案A投料口的粉塵可能會隨氣流擴散至整個房間,導致房間潔凈度超標;方案B通過局部排風罩,雖可以有效控制投料口的產(chǎn)塵,但可能使局部排風罩上形成氣流死角,造成新的積塵點,產(chǎn)生新的污染源;方案C在靠近投料口側(cè)墻上部和房間側(cè)墻底部均設置排風口,可有效控制投料口和出料口的粉塵擴散,防止其污染房間其他區(qū)域。綜上所述,方案C既可以防止粉塵擴散,又不影響房間的氣流組織,應為最佳方案。2.產(chǎn)生濕熱氣體房間的污染控制制藥生產(chǎn)線潔凈區(qū)同時還有部分工序會產(chǎn)生濕熱氣體,這些房間很可能因為濕熱氣體的散發(fā),使?jié)崈魠^(qū)內(nèi)的溫、濕度長期無法滿足設計要求。因此,在設計中必須考慮快速將房間中的濕熱氣體排走,如果我們按普通潔凈區(qū)做法,采用上送下側(cè)回的方式,會造成以下幾個問題:(1)濕熱氣體無法快速被排走,潔凈區(qū)內(nèi)溫度過高,...
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《潔凈廠房設計規(guī)范》對潔凈廠房疏散走廊明確提出了機械排煙要求,但對于潔凈室沒有明確規(guī)定一定要設機械排煙,實際工程中各地消防部門對于集成電路廠房潔凈室是否設排煙的問題上要求也不一致;但集成電路生產(chǎn)企業(yè)的業(yè)主通常會將整個廠房進行投保,由于集成電路生產(chǎn)中要使用多種易燃的氣體和液體,保險商一般均要求潔凈室設置機械排煙措施,否則增加保費。所以在集成電路潔凈工程中,潔凈室機械排煙經(jīng)常是不可回避的問題。集成電路廠房潔凈室國內(nèi)外目前常用的排煙方式有兩種:即下排煙和上排煙。一、下排煙方式下排煙一般是在潔凈室回風下夾層或回風豎井內(nèi)設置排煙口,當潔凈室或潔凈室下夾層發(fā)生火災時,則打開排煙口,開啟排煙風機進行排煙,此時新風機組繼續(xù)運行,往潔凈室上夾層內(nèi)補充新風,并通過必要的閥門切換使上夾層與潔凈室和下夾層隔開,上夾層內(nèi)新風由FFU送入室內(nèi)。采用下排煙必須有以下條件:即潔凈室發(fā)生火災時,潔凈室頂部FFU下吹的斷面風速必須大于煙氣上升的速度,否則煙氣會在潔凈室頂部積聚。通常FFU下吹速度為0.25~0.5m/s,而火災的熱釋放率只要大于3kW,煙氣的上升速度就會大于0.5m/s,所以下排煙方式只是在潔凈室發(fā)生小火災時有效。下排煙方式最近幾年在國外的一些集成電路廠房中得到應用,但國內(nèi)工程中用得較少。二、上排煙方式上排煙是在潔凈室吊頂上設置排煙口,通過排煙風管將各排煙口連接至排煙風機,當潔凈室發(fā)生火災時,打開排煙...
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